產(chǎn)品簡(jiǎn)介 真空紫外橢偏儀專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性；*的超快測(cè)量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?詳情介紹 真空紫外橢偏儀 專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性；*的超快測(cè)量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?真空紫外橢偏儀 產(chǎn)品特點(diǎn) 50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù) 45 秒內(nèi)完成充氮?dú)?2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空 8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測(cè)量 兩種工作模式：氮?dú)馇逑唇Y(jié)合抽 真空、連續(xù)氮?dú)馇逑?光譜范圍：147nm~850nm；147nm~2100nm 重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域 超薄膜 157nm 光刻新材料 有機(jī)材料、高分子材料 高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz 抗反射涂層 半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷 MgF2、CaF2、LaF3 上一篇： 定制化光譜系統(tǒng) 下一篇： SLFA-60便攜式X射線熒光硫分析儀